型号

主机外廓尺寸

被测工件最大尺寸

光栅尺

最大3D速度

最大3D速度

温度传感器

被测工件最大重量

重复性（μm）

示值误差MPEE(μm)

示值误差MPEE(μm)

示值误差MPEE(μm)

探测误差MPEE(μm)

MODEL

OVERALL SIZE

PART SIZE

SCALE

3D Max Speed

3D Max Accelerate Speed

Temperature sensor

PART WEIGHT

REPEATABLE ACCURACY

18℃-22℃

16℃-26℃

15℃-30℃

S

LX：1273mm LY：1505mm LZ：2470mm

500mm×700mm×500mm

一端固定，另一端自由伸缩

500mm/s

800mm/S²

工件传感器

500KG

1.5

3.0+3L/1000

3.0+L/250

3.0+L/200

3.0

P

1

2.5+3L/1000

2.5+3.3L/1000

2.5+L/250

2.6